د انډکشن تودولو فلزي کیمیاوي بخار ډیپوزیشن (MOCVD) ریکټورونه یوه ټیکنالوژي ده چې هدف یې د تودوخې موثریت ښه کول او د ګاز داخلیدو سره د زیان رسونکي مقناطیسي ترکیب کمول دي. دودیز انډکشن - تودوخې MOCVD ریکټورونه اکثرا د انډکشن کویل لري چې د خونې بهر موقعیت لري ، کوم چې د ګاز تحویلي سیسټم سره د لږ موثر تودوخې او احتمالي مقناطیسي مداخلې پایله کیدی شي. وروستي نوښتونه د تودوخې پروسې ته وده ورکولو لپاره د دې اجزاو ځای په ځای کولو یا بیا ډیزاین کولو وړاندیز کوي ، په دې توګه د ویفر په اوږدو کې د تودوخې توزیع یوشان والي ته وده ورکوي او د مقناطیسي ساحو پورې اړوند منفي اغیزې کموي. دا پرمختګ د ذخیره کولو پروسې باندې د غوره کنټرول ترلاسه کولو لپاره خورا مهم دی، چې د لوړ کیفیت سیمیک کنډکټر فلمونو المل کیږي.
د انډکشن سره د تودوخې MOCVD ریکټر
د فلزي کیمیاوي بخار ډیپوزیشن (MOCVD) یوه حیاتي پروسه ده چې د سیمی کنډکټر موادو په جوړولو کې کارول کیږي. پدې کې د ګازي مخکینیو څخه د پتلی فلمونو زیرمه په سبسټریټ کې شامله ده. د دې فلمونو کیفیت تر ډیره حده د ریکټور دننه د تودوخې په یووالي او کنټرول پورې اړه لري. د انډکشن حرارتی کول د MOCVD پروسو موثریت او پایلو ته وده ورکولو لپاره د پیچلي حل په توګه راپورته شوی.
په MOCVD ریکټورونو کې د انډکشن تودوخې پیژندنه
د انډکشن تودوخه یو میتود دی چې د شیانو تودوخې لپاره بریښنایی مقناطیسي ساحې کاروي. د MOCVD ریکټورونو په شرایطو کې، دا ټیکنالوژي د دودیزو تودوخې میتودونو په پرتله ډیری ګټې وړاندې کوي. دا د سبسټریټ په اوږدو کې د تودوخې دقیق کنټرول او یووالي ته اجازه ورکوي. دا د لوړ کیفیت فلم وده ترلاسه کولو لپاره خورا مهم دی. 
د انډکشن تودوخې ګټې
د تودوخې موثریت ښه شوی: د انډکشن تودوخه په مستقیم ډول د سوسیپټر (د سبسټریټ لپاره هولډر) پرته له دې چې ټوله خونې تودوخه کړي د پام وړ ښه موثریت وړاندیز کوي. د تودوخې دا مستقیم میتود د انرژي ضایع کموي او د تودوخې غبرګون وخت زیاتوي.
د زیان رسونکي مقناطیسي نښلول کمول: د انډکشن کویل او د ریکتور چیمبر د ډیزاین په ښه کولو سره، دا ممکنه ده چې مقناطیسي جوړه کمه شي کوم چې کولی شي د ریکټور کنټرول الکترونیکونو او د زیرمه شوي فلمونو کیفیت باندې منفي اغیزه وکړي.
د تودوخې یونیفورم ویش: دودیز MOCVD ریکټورونه اکثرا د سبسټریټ په اوږدو کې د تودوخې غیر مساوي توزیع سره مبارزه کوي ، چې د فلم وده منفي اغیزه کوي. د انډکشن تودوخه، د تودوخې جوړښت د محتاط ډیزاین له لارې، کولی شي د پام وړ د تودوخې د توزیع یووالي ته وده ورکړي.
ډیزاین نوښتونه
وروستي مطالعات او ډیزاین د دودیزو محدودیتونو په لرې کولو تمرکز کړی د تودوخی حرارتی په MOCVD ریکټورونو کې. د نوي سوسیپټر ډیزاینونو په معرفي کولو سره، لکه د T-shaped susceptor یا د V-shaped سلاټ ډیزاین، څیړونکي موخه لري چې د تودوخې یووالي او د تودوخې پروسې موثریت نور هم ښه کړي. برسېره پردې، د سړې دیوال MOCVD ریکټورونو کې د تودوخې جوړښت په اړه شمیرې مطالعې د ښه فعالیت لپاره د ریکټور ډیزاین اصلاح کولو لپاره بصیرت وړاندې کوي.
د سیمیکمډکټر جوړونې اغیزه
د د انډکشن حرارتی MOCVD ریکټرونه د سیمیکمډکټر جوړونې کې د پام وړ ګام وړاندې کوي. دا نه یوازې د زیرمه کولو پروسې موثریت او کیفیت لوړوي بلکه د پرمختللي بریښنایی او فوټونک وسیلو پراختیا کې هم مرسته کوي.